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神奈川県特集
多様なニーズに呼応する 優れた技術・製品・サービス File004
【ニッパツ】半導体プロセスでもキーパーツ提供/高度な接合技術生かし製造
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高度な接合技術により3層の独立した流路を持つシャワーヘッド(カットモデル図)
半導体業界では生成AIの進化などにより、半導体の微細化・積層化が進んでいる。このような半導体製造プロセスでは、チャンバー内での温度コントロールやプロセスガスの分布をより精密に制御する必要がある。こうしたニーズに応えるため、ニッパツは高度な金属接合技術を生かし、ヒータ、冷却板、シャワーヘッドといった半導体製造装置向け部品を提供している。
同社は、独自のろう付けや固相拡散接合など金属同士を母材同等の強度で接合する技術を持つ。加えて真空中での熱処理により、溶接等に比べて歪みを抑え、クリーンな流路を内包した製品を製作でき、内部構造の複雑化にも対応する。例えばシャワーヘッドに三つの独立した流路を内包することで、3種のプロセスガスを個別に流せる。流路を共用する従来法よりもガス同士による副生成物の発生を抑制でき、複数種のガスを必要とするALD向け装置などに品質面で利点がある。
同社は2024年12月に、半導体プロセス部品を生産する宮田工場(長野県宮田村)を拡張して稼働した。自動車用製品のみならず、HDD用サスペンションや半導体関連製品など、産業界になくてはならないキーパーツを提供している。
【A&Cサービス】産業機械でサブスク 自社製品も販売/窒素ガス発生装置・マテハン機器も取り扱い
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パレタイジングシステムに組み込んで荷崩れを防ぐ水溶性接着剤吹き付け装置「グルーマスター」
A&Cサービス(横浜市都筑区)は親会社のアネスト岩田製コンプレッサーや塗装機器の保守・修理業務を手がけてきた実績を踏まえ、2022年にコンプレッサーを毎月定額の支払いで使えるサブスクリプションサービスを事業化した。24年には対象製品を窒素ガス発生装置、さらにマテリアルハンドリング機器にも広げている。
コンプレッサーは多様なニーズに対応するため給油式スクリューコンプレッサーのほか無給油式(オイルフリー)のクローコンプレッサーとスクロールコンプレッサー、さらに屋外型給油式スクリューコンプレッサーもラインアップ。スクロールコンプレッサーについては取り扱い機種を小出力の0・75キロワットモデルまで広げる計画だ。窒素ガス発生装置はコンプレッサー内蔵型とコンプレッサー別置き型で各4機種をそろえた。
一方、マテハン機器は最大270キログラムまでの重量物を1人でハンドリングできるスウェーデンのTAWI製運搬サポートシステム「イージーリフト」5機種を扱う。
また、自社商品としてパレタイジングシステムに組み込んで荷崩れを防止できる水溶性接着剤吹き付け装置「グルーマスター」を販売しており、1月には特許も取得した。
【天昇電気工業】豪雨対策にプラ製地下貯留槽/都市河川への流出負荷を抑制
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雨水貯留浸透資材「テンレイン・スクラム」。ブロックは計量で、人力での組み立てが可能
天昇電気工業の雨水貯留浸透施設「テンレイン・スクラム」はゲリラ豪雨などの降雨災害を抑制する地下防災工法。豪雨を一時的に貯留して、都市河川への流出負荷を抑制する。地面を掘削した後、プラスチック製のブロックを地中に組み立てて、シート材で周囲を包んで地下水槽を構築する。ブロックは軽量で、人力での組み立てが可能なため工期の大幅な短縮を実現できる。
再生ポリプロピレン(PP)製のブロックは構造強度に優れており、50センチメートルの土被りがあれば大型車両でも通行可能。貯留槽上部を公園やグラウンド、駐車場としても利用できる。内部に流入した土砂を滞留させる土砂拡散防止システムの活用で、長期の維持管理も安心だ。