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シンフォニアテクノロジー株式会社

〒105-0012 東京都港区芝大門1-1-30 芝NBFタワー

半導体ウェーハ搬送における微細化をサポート 300㎜FOUP対応ロードポート

  • 独自機構の採用でよりスムーズな FOUPドア開閉を実現

    エアー/電動のハイブリッド動作機構により、
    ドア開閉時の振動を抑制し、 パーティクルパフォーマンスを大幅に向上。
    最新の高気密性FOUPにも対応。
    詳細はシンフォニアのホームページをご参照ください。