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高い清浄空間・省エネ性両立

　クリーンルームは高い清浄度の空間を維持するため、温度・湿度を管理し、不良品の原因となる浮遊微小粒子、分子などを捕獲・除去する。高い清浄空間を継続して維持するために、温度や湿度、清浄度を管理する空調システム、熱源機器、塵やホコリを侵入させないＨＥＰＡフィルターやＵＬＰＡフィルターなど多くの設備機器で構成されており、消費エネルギーは大きい。

　室内の空気を大量に換気（循環）する過程で、求めるクリーンな空間（エリア）が大きくなれば送風に必要な電力も大きくなるため、汚染物質を効率的に排除しつつエネルギーの消費抑制が求められている。業種や作業の工程ごとに求められる清浄レベルに違いがあり、適切で規定のレベルの清浄度が必要となる。そして、効果的な排出とエネルギー消費抑制を両立し、必要に応じてガスや温度、湿度、室内の圧力、静電気、電磁波、微振動などの各環境条件も制御する。

　また空間の清浄度は国際標準化機構規格（ＩＳＯ）などでクラス分けされている。ＩＳＯではクラス１から９まで分類され、クラス数が小さい方が清浄度が高い。

半導体関連・ビヨンド５Ｇ　新設・増設が加速

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　こうした中、半導体関連に加え、第５世代通信（５Ｇ）の次世代となるビヨンド５Ｇを見据えてクリーンルームの新設や増設が加速している。

　台湾・ハイウィンの日本法人は神戸市西区に新本社工場を建設し、２０２２年１１月に稼働した。クリーンルームを整備し、半導体製造装置向け直動機器の２次加工のアレンジを広げている。

　東京都品川区の列真（レージン）は長野県小諸市に新工場を建設しており、２３年６月の稼働を目指す。新工場は約２００平方メートルのクリーンルームを備え、半導体フォトマスク欠陥検査装置などを生産する。

　リバーエレテックはビヨンド５Ｇなどに対応する製品開発を進めている。山梨県韮崎市の本社でクリーンルームを増設し、２３年３月に稼働したと発表した。半導体製造などで使うフォトリソグラフィーを応用し、水晶の微細加工技術を研究開発・生産するため最適な設計を施している。同社はクリーンルームを中核インフラとし、高周波・低ノイズ化に対応した次世代水晶製品の生産を加速する。

　また空気環境の構築や室圧制御技術などの技術力、ノウハウを背景に、ライフサイエンス分野や医薬品の開発・生産、病院など医療関連でのクリーンルームの重要性が高まっている。医薬品や食品のクリーンルームでは、生物微粒子や非生物微粒子の量を制御するほか、細菌がほかのものを経由して感染する交差感染（クロスコンタミネーション）などを防止する。